“零到一”突破期望升溫 A股光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)鏈躁動(dòng)

　　近期，作為半導(dǎo)體制造最核心環(huán)節(jié)的光刻機(jī)賽道走熱，國產(chǎn)產(chǎn)業(yè)鏈相關(guān)標(biāo)的在二級(jí)市場熱度空前，A股光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)鏈標(biāo)的波動(dòng)，高度吸引著市場的目光。

　　9月24日，21世紀(jì)經(jīng)濟(jì)報(bào)道記者在上海國家會(huì)展中心舉辦的第二十五屆中國國際工業(yè)博覽會(huì)上看到，上海微電子(SMEE)展臺(tái)上首次公開亮相極紫外(EUV)投影微場曝光裝置，及其部分技術(shù)內(nèi)容的對(duì)外披露。

　　行業(yè)脈動(dòng)直接傳導(dǎo)至二級(jí)市場，疊加近期半導(dǎo)體行業(yè)漲價(jià)預(yù)期不斷催化的影響，光刻機(jī)概念漲勢如虹。

　　9月24日，光刻機(jī)概念龍頭張江高科(600895.SH)漲停，股價(jià)再創(chuàng)歷史新高；同期，江豐電子(300666.SZ)漲超17%，聯(lián)合化學(xué)(301209.SZ)、先鋒精科(688605.SH)、洪田股份(603800.SH)、富創(chuàng)精密(688409.SH)漲超5%。

　　根據(jù)張江高科此前互動(dòng)易披露消息，公司通過子公司上海張江浩成創(chuàng)業(yè)投資有限公司投資了上海微電子公司22345萬元，持有上海微電子公司10.779%的股權(quán)。

　　江豐電子為光刻工藝的前道工序(沉積)提供關(guān)鍵材料，并為后道工序(刻蝕)等相關(guān)設(shè)備提供精密零部件。

　　據(jù)其此前年報(bào)披露，江豐電子研發(fā)的“半導(dǎo)體用多層薄壁鈦合金擴(kuò)散焊接項(xiàng)目”，用于制備28nm以下節(jié)點(diǎn)的光刻機(jī)核心冷卻部件，已進(jìn)入量產(chǎn)階段，有望切入光刻機(jī)設(shè)備核心部件領(lǐng)域。

　　對(duì)于光刻機(jī)市場，中航證券研報(bào)指出，中國大陸光刻機(jī)市場空間廣闊，但主要依賴荷蘭、日本等地進(jìn)口。

　　出口管制陰影下，光刻機(jī)供給不確定性上升，走向自主可控已無可回避。

　　待征服的高地

　　光刻機(jī)決定了半導(dǎo)體加工的最細(xì)線寬，通過曝光和光刻膠使晶圓表面產(chǎn)生電路圖形，是芯片制造中最復(fù)雜的設(shè)備。設(shè)備的核心包括光源系統(tǒng)、照明系統(tǒng)/投影光學(xué)系統(tǒng)以及用于保持晶圓和掩膜運(yùn)動(dòng)的雙工件臺(tái)，其中每個(gè)系統(tǒng)都由數(shù)萬個(gè)甚至十萬多個(gè)零件構(gòu)成。

　　目前市場上的光刻機(jī)主要分為g-line、i-line、KrF、ArF、EUV五代，銷售結(jié)構(gòu)以中低端的KrF、i-line為主，ArFi、ArF、EUV占比較小，EUV是全球光刻機(jī)的重要發(fā)展方向之一。

　　從全球市場來看，阿斯麥(ASML)獨(dú)占鰲頭，成為唯一的一線供應(yīng)商，占據(jù)全球八成以上的市場；旗下產(chǎn)品覆蓋全部級(jí)別光刻機(jī)，壟斷最高端的EUV市場。ASML 2025年二季度財(cái)報(bào)顯示，其凈銷售額為77億歐元，環(huán)比持平，同比增長23%；凈利潤為23億歐元，環(huán)比下降約2.8%，同比增長45%。該季度，ASML的光刻機(jī)系統(tǒng)銷售收入為56億歐元，其中EUV銷售額為27億歐元，非EUV銷售額為29億歐元；當(dāng)季售出EUV 11臺(tái)、DUV 64臺(tái)。

　　ASML之外，日本光刻機(jī)雙雄尼康、佳能的市場份額僅在個(gè)位數(shù)徘徊。尼康憑多年積累勉守二線，佳能位居第三；兩者出貨亦以成熟制程設(shè)備為主。佳能主要集中在i-line領(lǐng)域，并在技術(shù)上押注納米壓印光刻；尼康除EUV外均有涉獵。

　　與海外龍頭相比，國產(chǎn)光刻機(jī)整體仍有明顯距離。

　　東興證券研報(bào)指出，光刻機(jī)國產(chǎn)化率僅2.5%，上海微電子為國產(chǎn)光刻機(jī)絕對(duì)龍頭。目前，上海微電子是中國第一家也是唯一一家光刻機(jī)廠商，出貨量占國內(nèi)市場份額超過80%，產(chǎn)品主要涉及ArF、KrF和i-line領(lǐng)域，已具備90nm及以下的芯片制造能力。

　　華金證券認(rèn)為，在產(chǎn)品上，上海微電子對(duì)標(biāo)佳能，皆用于成熟制程，浸沒式產(chǎn)品暫未推出。目前，上海微電子已量產(chǎn)光刻機(jī)主要有SSX600、SSX500、SSB300、SSB200小Mask、SSB200大Mask等系列。其中，SSX600系列步進(jìn)掃描投影光刻機(jī)采用四倍縮小倍率的投影物鏡、工藝自適應(yīng)調(diào)焦調(diào)平技術(shù)，以及高速高精的自減振六自由度工件臺(tái)/掩膜臺(tái)技術(shù)。

　　“零到一”突破預(yù)期升溫

　　由于地緣政治因素，中國大陸的芯片產(chǎn)線無法買到ASML生產(chǎn)的EUV，制程上一直落后于臺(tái)積電，目前，市場對(duì)國產(chǎn)光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)鏈實(shí)現(xiàn)突破的期望在急劇升溫。

　　東興證券研報(bào)指出，目前，中國光刻機(jī)制造商在面對(duì)技術(shù)挑戰(zhàn)和供應(yīng)鏈問題時(shí)，產(chǎn)能和產(chǎn)量仍然受限。

　　近些年中國光刻機(jī)國產(chǎn)化進(jìn)程加快，產(chǎn)業(yè)取得一定發(fā)展，但與國際領(lǐng)先水平相比仍存在技術(shù)限制，尤其是高端光刻機(jī)技術(shù)受制于國外供應(yīng)商，需要上下游同心協(xié)力攻堅(jiān)。

　　國內(nèi)光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)鏈主要包括上游設(shè)備及配套材料、中游光刻機(jī)系統(tǒng)集成和生產(chǎn)，以及下游光刻機(jī)應(yīng)用三大環(huán)節(jié)。

　　華金證券研報(bào)顯示，光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)鏈中“卡脖子”環(huán)節(jié)，技術(shù)積累較深或已直接/間接進(jìn)入ASML/上海微電子等供應(yīng)鏈的廠商包括：芯碁微裝(688630.SH，直寫光刻)、富創(chuàng)精密(零部件)、炬光科技(688167.SH，光學(xué)器件)、賽微電子(300456.SZ，物鏡)、波長光電(301421.SZ，光源)、奧普光電(002338.SZ，整機(jī))、騰景科技(688195.SH，光學(xué)器件)、福晶科技(002222.SZ，光源)、茂萊光學(xué)(688502.SH，光源)、電科數(shù)字(600850.SH，計(jì)算/控制模塊)、新萊應(yīng)材(300260.SZ，零部件)、美�？萍�(688376.SH)/藍(lán)英裝備(300293.SZ)(潔凈設(shè)備)、同飛股份(300990.SZ)/海立股份(600619.SH)(溫控)、東方嘉盛(002889.SZ，服務(wù))、上海微電子(整機(jī)，未上市)、華卓精科(工件臺(tái)，未上市)。

　　21世紀(jì)經(jīng)濟(jì)報(bào)道記者梳理發(fā)現(xiàn)，目前，我國在光刻機(jī)各細(xì)分技術(shù)領(lǐng)域均有儲(chǔ)備。

　　針對(duì)準(zhǔn)分子激光光源，科益虹源主要研發(fā)248nm準(zhǔn)分子激光器、干式193nm準(zhǔn)分子激光器等；福晶科技研發(fā)KBBF晶體；中科院研發(fā)40瓦干式準(zhǔn)分子激光光源。針對(duì)光學(xué)鏡頭，國望光學(xué)研發(fā)90nm節(jié)點(diǎn)ArF光刻機(jī)曝光光學(xué)系統(tǒng)、110nm節(jié)點(diǎn)KrF光刻機(jī)曝光光學(xué)系統(tǒng)；中科科儀研發(fā)直線式勞埃透鏡鍍膜裝置、納米聚焦鏡鍍膜裝置等。

　　需要注意的是，“光刻機(jī)”在不同語境下可能指代用于芯片制造的高端光刻機(jī)，也可能是用于PCB(印刷電路板)等領(lǐng)域的直寫光刻設(shè)備(LDI)。

　　21世紀(jì)經(jīng)濟(jì)報(bào)道記者注意到，近期A股多家上市公司在互動(dòng)易或公告中披露了自身在光刻機(jī)或半導(dǎo)體領(lǐng)域的關(guān)聯(lián)布局。

　　4月14日，國林科技(300786.SZ)在互動(dòng)平臺(tái)表示，目前公司電子級(jí)超純臭氧氣體發(fā)生器和半導(dǎo)體級(jí)高濃度臭氧水系統(tǒng)設(shè)備部分型號(hào)已取得小批量訂單，占主營業(yè)務(wù)收入比重較小。此前，公司稱臭氧在電子工業(yè)領(lǐng)域可被廣泛用于形成CVD和ALD薄膜、氧化物生長、光刻膠去除和多種清潔應(yīng)用。

　　9月18日，南京化纖(600889.SH)公告稱，作為南京工藝的唯一股東，將通過調(diào)整后的治理結(jié)構(gòu)對(duì)南京工藝業(yè)務(wù)、資產(chǎn)實(shí)施有效管控。近年來南京工藝積極拓展高端市場，已在多個(gè)高端應(yīng)用領(lǐng)域取得突破。在半導(dǎo)體領(lǐng)域，南京工藝目前已為光刻機(jī)、刻蝕機(jī)、封裝設(shè)備以及晶圓搬運(yùn)等場合提供配套。

　　9月19日，波長光電在回答投資者提問中稱，公司主營各類光學(xué)元件、組件及系統(tǒng)方案，為整機(jī)設(shè)備、儀器廠家提供配套，部分產(chǎn)品可應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備上，但公司暫不掌握終端的具體信息，且目前公司在半導(dǎo)體領(lǐng)域的營收規(guī)模較小。對(duì)于拓展相關(guān)行業(yè)的客戶群體，基于保密性原則，無法告知具體信息。

　　9月25日，捷眾科技(873690.BJ)披露，公司客戶浙江啟爾機(jī)電專注于高端半導(dǎo)體裝備超潔凈流控系統(tǒng)及其關(guān)鍵零部件的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，為光刻機(jī)提供超潔凈流體處理設(shè)備。

　　需要明確的是，單點(diǎn)技術(shù)突破和單個(gè)公司的研發(fā)仍難以讓國產(chǎn)光刻機(jī)打開局面。參看ASML發(fā)展歷史，其與上下游產(chǎn)業(yè)鏈龍頭公司緊密合作，產(chǎn)學(xué)研深入發(fā)展帶動(dòng)了技術(shù)革新。

　　中航證券指出，光刻機(jī)作為高壁壘、重資本、高風(fēng)險(xiǎn)的行業(yè)，其發(fā)展有賴“舉國體制”之力，需要國家牽頭、科研院所與關(guān)鍵公司參與，方可實(shí)現(xiàn)供應(yīng)鏈自主可控。而作為國內(nèi)光刻機(jī)發(fā)展風(fēng)向標(biāo)的上海微電子和幾大院所的科技研發(fā)成果，尤其值得長期關(guān)注。

　　(作者：彭新 編輯：朱益民)